发表时间：2024-07-26 17:59:33 │ 点击数：
金融界 2024 年 7 月 19 日消息，天眼查知识产权信息显示，中国移动通信有限公司研究院,中国移动通信集团有限公司申请一项名为“激光器谐振腔制备方法“，公开九游会 J9官方网站号 CN6.7，申请日期为 2023 年 1 月。
专利摘要显示，本申请公开了一种激光器谐振腔制备方法，涉及激光器技术领域。该方法包括：在硅衬底的外延层表面制备第一镀膜层；在所述第一镀膜层上光刻并制备第二镀膜层；进行所述第二镀膜层的剥离；进行所述第一镀膜层的刻蚀；以所述第一镀膜层和所述第二镀膜层为阻挡层，对硅衬底的外延层进行刻蚀，获取激光器谐振腔。上述方案，能够保证获取形态较好的激光器谐振腔的侧壁外表面，以此提升激光器的辐射复合率、外量子效率、电光转换效率、使用寿命九游会 J9官方网站等。
